多弧离子真空镀膜设备_【莱糸真空】莱糸真空科技(常州)有限公司

多弧离子真空镀膜设备

Multi-arc sputtering Coating Equipment
本装置是在真空状态下引燃蒸发源(阴极),与阳极之间形成自持弧光放电,即从阴极弧光辉点放出阴极物质的离子，由于电流局部的集中,产生的焦耳热使阴极材料局部的爆发性的等离子化,在工件偏压的作用下与反应气体化合,而沉积在工件表面上形成被镀的膜层的设备。有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点

设备型号	RM-MAS1000	RM-MAS1150	RM-MAS1200	RM-MAS1600
真空室尺寸	1000×1200	1150×1200	1200×1300	1600×1800	1600×2200
制膜种类	金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等
电源类型	直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
多弧靶	多弧靶5个或18个，1个或2个柱弧靶
孪生靶	中频孪生柱靶或平面靶（1～4对）
真空室结构	立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统
真空系统	机械泵（RP）＋罗茨泵（RSP）＋扩散泵（DP或选配：分子泵、深冷系统-140℃）＋维持泵（HP）
加热系统	常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热
充气系统	质量流量控制仪（1-4路）
极限真空	6×10-4pa（空载、净室）
抽气时间	空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
保压率	1h≤0.6pa
工件旋转方式	上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分
控制方式	手动＋半自动/触摸屏＋PLC
备注	真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

广泛应用于工具、模具的超硬涂层，汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。
镀膜材料：适用各种金属镀膜（TiN、TiCN、CrN、TiALN、TiNbN、TiCrN、TiNC及各类金钢石膜DLC金属材料）。
镀膜品质：膜层密度高、附着力强、沉积速度快等。