15062216015
该连续线共设计有十五个真空腔体,其中进口室一个、出口室一个、进口缓冲室一个、出口缓冲室一个、进口传送室一个、出口传送室一个和传送室两个;溅射镀膜室七 个,每个溅射镀膜室可以同时安装四个阴极。
1.极限真空:7x10-4Pa. 2.生产周期40~120秒/架 3.基本架尺寸:859*1500mm (可以根据要求定做) 4.膜层均匀性:±2% 5.膜层稳定性:达到国际标准