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真空电镀设备膜厚的不均匀问题

无论监控仪精度怎样,它也只能控制真空室里单点位置的膜厚,一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是绝对均匀的,那么远离...

2019-05-30
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